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[学位论文] 作者:夏令举, 来源:中国科学技术大学 年份:2021
大气压等离子体微射流是一种在大气压开放空间下产生的,射流直径在1mm以内等离子体。它具有无需真空腔、常温远程处理、特征尺度小等优点,可对材料三维表面进行无掩模微图案化处理,在微机电系统和微纳米生物医学领域具有广阔的应用前景。利用单根等离子体射流只......
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