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[期刊论文] 作者：大塚丰三,木次直道,朱心才,韩美,
来源：低温与特气 年份：1986
本方法的特点是以硫酸为介质，使二氧化硅和氟化氢接触反应，从而得到四氟化硅。此时，保持硫酸介质浓度在80％以上。...
[期刊论文] 作者：大塚丰三,木次直道,朱心才,韩美,
来源：低温与特气 年份：1986
本发明是关于制取适用于电子材料、太阳能电池元件等非晶硅半导体的高纯四氟化奎，是将含有SiOF2、(SiF3)2O、(SiF2)2SiF2O2等含氧氟化砖及SO2、SO2、H2S等硫化物的四氟化硅进...
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