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[期刊论文] 作者：莘海维,奚正蕾,凌行,张志明,
来源：航空精密制造技术 年份：2002
从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻...
[期刊论文] 作者：李国欣,徐传继,黄秉琰,奚正蕾,
来源：上海航天 年份：1998
简要介绍世界空间太阳能电站的太阳发电卫星／太阳能发电（ＳＰＳ／ＬＳＰ）系统两种设想及相关技术的可行性研究与发展情况。总体说，实现空间电站所需无线电能传输技术（ＷＰＴ）、太阳电池技术及空间技术已......
[期刊论文] 作者：莘海维,凌行,奚正蕾,张志明,沈荷生,戴永兵,
来源：上海交通大学学报 年份：2002
利用热丝大面积金刚石薄膜气相合成(CVD)装置制备了复合金刚石薄膜,并对其表面和断面分别进行了扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱表征.研究了该复合结构的介电性...
[期刊论文] 作者：奚正蕾,莘海维,张志明,凌行,沈荷生,戴永兵,万永中,陆鸣,
来源：微细加工技术 年份：2001
用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜.测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值.实验结果表明,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜,介电性能比...
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