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[学位论文] 作者:姜殿利, 来源:哈尔滨师范大学 年份:2015
非晶铟镓锌氧(a-InGaZnO)薄膜具有可低温或室温制备,较宽的禁带宽度(>3.0 eV),高的迁移率,大面积制备薄膜均匀性好等优点,已成为制备下一代平板显示器方面的优选材料。这使其在光电......
[期刊论文] 作者:姜殿利,马新志,, 来源:智富时代 年份:2014
利用等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在c面蓝宝石衬底上,在室温条件下制备了非晶InGaZnO薄膜,在其基础上制备了金属-半导体-金属结构紫外探测器,并测量了探测器的光谱响应和...
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