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[期刊论文] 作者：范永昌,字承武,
来源：激光与红外 年份：1991
本文简要介绍准分子激光溅射法制备高温超导薄膜的实验技术。重点阐述了近年来由大量实验研究所揭示出的激光溅射及成膜过程的一些基本特点和规律。同时,对准分子激光制膜保...
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