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[期刊论文] 作者:孙伟,郝男,王红艳, 来源:企业技术开发:下 年份:2009
文章阐述了一些制备ZnO纳米半导体材料的常用技术,如模板制备法、物理气相沉积、脉冲激光沉积、分子柬外延、金属有机化合物气相沉积,并分析了各种方法的优缺点。...
[期刊论文] 作者:孙 伟 郝 男 王红艳, 来源:企业技术开发·下半月 年份:2009
摘要:文章阐述了一些制备ZnO纳米半导体材料的常用技术,如模板制备法、物理气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、金属有机化合物气相沉积,并分析了各种方法的优缺点。  关键词:ZnO;模板制备法; PVD; PLD; 金属有机化合物气相沉积  中图分类号:TN304文献标......
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