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[会议论文] 作者：孙延东;王晖;邓湘云;李德军;,
来源：中国工程院化工、冶金与材料工学部第七届学术会议 年份：2009
在超高真空条件下利用磁控溅射系统制备了AlN/ZrB2纳米多层膜.通过XRD、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与AlN、ZrB2单层厚度比例tAlN∶ tZrB2对多层膜生长结构...
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