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[期刊论文] 作者：孙曦庆,李志坚,
来源：半导体学报 年份：1993
本文提出了一种新型的多晶硅梁微静电开关结构,并在考虑硅梁固定边张力的情况下对多晶硅梁的受力弯曲、静电吸合等情形进行了有效的静力学理论分析。 利用微静电开关的充电吸...
[期刊论文] 作者：谢会开,孙曦庆,
来源：功能材料与器件学报 年份：1996
本文介绍我们最近研制的一种硅基集成微马达。其制作工艺非常简单，仅包括四次光刻，两次多晶硅薄膜淀积和两次ＳｉＯ２牺牲层淀积。实现了快速、方便及批量地制作测量分析用的微马达样品......
[会议论文] 作者：谢会开,孙曦庆,
来源：第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 年份：1995
作者利用ＩＣ工艺在硅片上制作了多晶硅可翻转器件。这些器件可以是各种形状，并可支撑后形成三维立体结构。其垂直于硅片平面方向的尺寸可达毫米量级。...
[会议论文] 作者：刘理天,孙曦庆,
来源：第三届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1993
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[会议论文] 作者：谢会开,孙曦庆,
来源：全国纳米科学与技术学术会议 年份：1994
...
[期刊论文] 作者：孙曦庆,谢会开,等,
来源：半导体学报 年份：1995
本文介绍一种硅基集成微晃动马达。该微马达的制作工艺非常简单，主要包括四次光刻（共三块版）、两次LPCVD多晶硅膜淀积和两次LTO SiO2膜淀积。微马达转子和定子由厚度为4．2μm的......
[期刊论文] 作者：孙曦庆,李志坚,费圭甫,
来源：半导体学报 年份：1993
本文提出了一种新型的多晶硅梁微静电开关结构,并在考虑硅梁固定边张力的情况下对多晶硅梁的受力弯曲、静电吸合等情形进行了有效的静力学理论分析。 利用微静电开关的充电吸...
[期刊论文] 作者：谢会开, 孙曦庆, 刘理天, 李志坚,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2004
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[期刊论文] 作者：谢会开,孙曦庆,刘理天,李志坚,
来源：仪器仪表学报 年份：1995
本文介绍一种硅基集成微马达。该微马达转子和定子由厚度为４．２μｍ的多晶硅膜形成，转子与定子之间的空气间隙为２．０～２．５μｍ，转子的半径为４０～５０μｍ。其制作工艺非常简单，仅包括四次光刻（共三块版）、两次......
[期刊论文] 作者：孙曦庆,李志坚,费圭甫,刘理天,
来源：半导体学报 年份：1993
本文介绍一种结构改进了的硅基微静电马达。通过在微马达转子下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测,这对于实现转速自动控制和制作各种传感器有重大意义。利用复合膜...
[期刊论文] 作者：孙曦庆,谢会开,刘理天,李志坚,钱佩信,
来源：半导体学报 年份：1995
本文介绍一种硅基集成微晃动马达．该微马达的制作工艺非常简单，主要包括四次光刻（共三块版）、两次ＬＰＣＶＤ多晶硅膜淀积和两次ＬＴＯＳｉＯ２膜淀积．微马达转子和定子由厚度为４．２μｍ的多晶硅膜形成，转子与定子......
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