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[期刊论文] 作者：杨国波,赵希瑾,肖昂,刘洋,孙泉钦,
来源：电子世界 年份：2020
为了提高OLED有机蒸镀过程的稳定性,设计引入4种滤波参数对设备及环境噪音形成的信号干扰进行消除或降低,并通过DOE实验,分析引入的4种滤波参数对蒸镀稳定性的影响并找到滤波...
[期刊论文] 作者：周梁, 韩大伟, 孙泉钦, 王丹名, 李华, 陈垚,,
来源：液晶与显示 年份：2015
在TFT-LCD行业,PECVD设备主要用于Array TFT基板工艺中的气相沉积;产生的非金属膜层,为金属电路提供保护、开关作用;在PECVD工艺制程中,腔体设计复杂,反应条件苛刻,产生的制...
[期刊论文] 作者：杨国波,赵文星,孙泉钦,李端明,郜明浩,
来源：电子世界 年份：2020
研究了AMOLED柔性薄膜封装PECVD系统中射频功率和反应压力对氮化硅薄膜应力的影响,结果表明,射频功率的改变影响离子对衬底的轰击效应,反应压力的改变影响气体分子的平均自由...
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