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[学位论文] 作者：孟汉柏,
来源： 年份：2008
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏度、易于与压电微执行器集成等优点使其具有很大的应用价值。本文以PZT、PT／PZT／PT压电薄膜悬臂梁式微力传感器为研究对象，研究了压电......
[期刊论文] 作者：崔岩,孟汉柏,王兢,石二磊,王立鼎,,
来源：光学精密工程 年份：2007
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZT薄膜退火温度同为600℃时......
[期刊论文] 作者：孟汉柏,崔岩,王兢,陈会林,王立鼎,,
来源：传感技术学报 年份：2008
为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/P......
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