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[学位论文] 作者：宋同晶,
来源：合肥工业大学 年份：2012
近年来，感应耦合等离子体刻蚀(ICP刻蚀)技术随着MEMS的发展而变得愈加重要，得到了广泛的应用。比喻的说，现在ICP刻蚀还处在青少年时期，呈现出朝气蓬勃的势头，发展前景非常明朗，但是......
[期刊论文] 作者：李桦林,宋同晶,赵成伟,,
来源：电子科技 年份：2011
研究了以太网在多核系统中的数据通讯,设计了以太网IP核到MPSoC网络资源的硬件接口。阐述了设计中各模块的实现功能和设计方法,通过仿真和FPGA验证结果表明,以太网接口数据通...
[期刊论文] 作者：展明浩,宋同晶,皇华,王文婧,陈博,,
来源：电子科技 年份：2012
介绍了电感耦合等离子体（ICP）刻蚀技术的基本概念。结合英国STS公司的STSmultiplexICPsystem刻蚀机，介绍了刻蚀机原理及刻蚀过程。对硅深槽刻蚀技术进行了分析，对其中Footing效应...
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