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[期刊论文] 作者：冯毓材,李哓谦,尢大纬,况元珠,王宇,
来源：电工电能新技术 年份：1997
本文介绍一种新型的光学薄膜制备用多离子束电子束系统。该系统既可采用聚焦离子束溅射沉积，也可采用传统的电子束蒸发沉积薄膜，并辅助以低能离子轰击，离子可以是惰性元素也可以......
[期刊论文] 作者：况园珠,黄小刚,尢大纬,王兴民,林文廉,
来源：真空 年份：1997
本文介绍用离子束增强沉积（ＩＢＥＤ）法在硅片上制备氮化硼（ＢＮ）薄膜及镀膜参数对膜中立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）含量的影响的试验研究，主要研究轰击离子束密、镀膜速率、轰击束中氩气的含量及衬底温度的影响......
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