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[期刊论文] 作者：吴卿,巩锋,陈元瑞,侯晓敏,崔健维,,
来源：激光与红外 年份：2014
采用光学显微镜和光学轮廓仪分析了 InSb 晶片（111）A 面经特定腐蚀剂腐蚀后出现的两种特征腐蚀坑，并通过多次腐蚀试验观察了这两种腐蚀坑形貌的演变。从理论上对腐蚀坑形貌的成......
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