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[学位论文] 作者：康西巧,
来源：中国科学院光电技术研究所 年份：2001
该文以部分相干成像理论为基础,对光瞳滤波技术提高光刻分辨率的物理机理进行了深入的研究,提出利用模拟退火算法求解滤波器的思想,建立数学模型并利用Visual C++和Matlab语...
[期刊论文] 作者：石建平,陈旭南,康西巧,
来源：微细加工技术 年份：2002
介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统 ,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置 ,可方便取放滤波器。在理论分析的基础上 ,开展了光刻对比实验研究 ,实验研究...
[期刊论文] 作者：康西巧,罗先刚,陈旭南,
来源：光电工程 年份：2001
针对投影光刻成像系统在数值孔径足够大时所产生的分辨力和焦深的矛盾，详细研究了光瞳滤波对投影成像对比度的改善情况，根据不同掩模图形设计对应的最优滤波器。研究结果表明，光......
[期刊论文] 作者：陈旭南,石建平,罗先刚,康西巧,
来源：微纳电子技术 年份：2004
在阐述投影成像光刻光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了滤波成像光刻图形质量影响因素.指出影响图形质量的因素除了滤波器设计本身存在误差,主要还存在滤...
[会议论文] 作者：陈旭南,石建平,罗先刚,康西巧,
来源：第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 年份：2002
为进一步提高部分相干投影成像系统的光刻分辨率和焦深,详细研究了光瞳滤波的基本理论,给出数学模型,进行模拟计算,取得计算结果和实验结果.理论分析和实验结果表明,光瞳滤波...
[会议论文] 作者：康西巧;陈旭南;石建平;罗先刚;,
来源：第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2001
为进一步提高投影成像系统的光刻分辨率和焦深,研究利用模拟退火算法设计和优化光瞳滤波器.文中给出光瞳滤波器算法数理模型,利用模拟退火法制定设计原则,给出算法实现过程,...
[期刊论文] 作者：陈旭南,石建平,康西巧,罗先刚,秦涛,
来源：光子学报 年份：2003
详细研究了提高投影成像光刻分辨力的相移滤波技术的基本理论,给出了理论模型,进行了模拟计算.对不同掩模图形设计制作的不同优化滤波器进行光刻对比实验并取得实验结果.研究...
[期刊论文] 作者：陈献忠,姚汉民,李展,陈元培,罗先刚,康西巧,
来源：光电工程 年份：2000
介绍了纳米加工中的光驻波场 ,分别对单反射面和双反射面形成的驻波进行了分析 ,并对不同区域的光强分布进行了理论推导。最后对如何形成高质量的光驻波场进行了探讨。The...
[会议论文] 作者：陈旭南;康西巧;罗先刚;石建平;姚汉民;李展;,
来源：第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2001
为进一步提高大数值孔径投影成像系统的光刻分辨力和焦深,同时针对振幅型滤波光能量利用率低的缺点,详细研究了相移滤波高分辨力大焦深的基本理论,给出相移滤波数理模型,进行...
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