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为进一步提高部分相干投影成像系统的光刻分辨率和焦深,详细研究了光瞳滤波的基本理论,给出数学模型,进行模拟计算,取得计算结果和实验结果.理论分析和实验结果表明,光瞳滤波能显著提高投影成像系统光刻分辨率和焦深,是一种比较有效提高光刻分辨率的波前工程技术.
光瞳滤波提高点线图形光刻分辨率研究
【摘 要】
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为进一步提高部分相干投影成像系统的光刻分辨率和焦深,详细研究了光瞳滤波的基本理论,给出数学模型,进行模拟计算,取得计算结果和实验结果.理论分析和实验结果表明,光瞳滤波
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
【出 处】
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第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
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2002年期
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