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[期刊论文] 作者：穆仲良,何永国,廖信生,张素明,
来源：南京大学学报(自然科学版) 年份：1994
设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实......
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