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[期刊论文] 作者：王玉魁,韩会民,高路斯,廖勇泉,
来源：真空 年份：1996
利用等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＩＰ）沉积ＴｉＮ涂层，研究涂层的组织结构和性能。随着氮气分压增加涂层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展。氮气分压对涂层硬度的影响是由膜层相组......
[期刊论文] 作者：王玉魁,李秀兰,王秀敏,高路斯,廖勇泉,韩会民,
来源：大连理工大学学报 年份：1996
介绍了等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＩＰ）ＴｉＮ涂层的工艺、组织结构和性能．研究了氮分压和靶功率对涂层相组成和性能的影响，讨论了Ｔｉ２Ｎ对涂层硬度的影响．实验结果表明，由Ｔｉ２Ｎ和Ｔｉｎ两相组成的涂层硬度高......
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