搜索筛选:
搜索耗时1.9809秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者:张华曹,谷岳生,
来源:电力电子技术 年份:
研究了如何应用SUPREM软件程序,对液态源磷扩散工艺条件及扩散结果进行CAD模拟分析。文中重点研究了扩散系数的修正值Be,硅片表面汽相磷浓度n*的计算,并应用计算出的Be、n*值分析模拟了磷扩散后的结果。它表明与实验结果相一致,且重复性好。......
相关搜索: