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[学位论文] 作者：张家锦,,
来源：复旦大学 年份：2013
光刻工艺作为半导体制造技术的核心工艺,是整个IC制造技术向前发展的驱动力。随着IC产业进入22nm时代,不断缩小的工艺尺寸对光刻套刻性能提出了非常高的要求。对于一些产品的...
[期刊论文] 作者：张家锦,
来源：电子乐园 年份：2020
随着教师的教学方式方法上不断改进和创新,越来越多的教学方法出现了。微课是一种创新的教学方法,在初中信息技术教学 中有着显著的效果,不但能有效的提高课堂的教学效果,还...
[期刊论文] 作者：张家锦,
来源：集成电路应用 年份：2020
结合Kirk的测试原理,基于实际的光刻机应用工况,通过工艺试验、计算仿真等手段建立有效的数据模型,有助于准确地把握杂散光的影响规律。经分析表明,杂散光对不同尺寸图形的影...
[期刊论文] 作者：张家锦,
来源：电子乐园 年份：2019
视觉是人类接收信息最重要的方式与途径,日常生活中人类依靠视觉获取信息量占 80%以上。知识可视化可将难以理解的抽象 事物转化为图像,以加强人们对知识的理解。本文以知识...
[学位论文] 作者：张家锦,,
来源：华侨大学 年份：2020
2017年我国在《民法总则》中确立了遗嘱监护制度,在原有监护制度的基础上又增加了一个新的制度来保障民事行为能力欠缺者的权益,填补了我国监护领域的一个制度漏洞。遗嘱监护...
[期刊论文] 作者：张家锦,
来源：读与写：上旬 年份：2021
随着社会的进步与发展,教育教学的方式在不断地探索与创新,平板教学的模式成了各个学校搭建智慧校园的标杆。 相比于传统文化课堂,平板教学在信息技术学科教学中的作用一直被忽视。 本文就浅谈平板教学在信息技术学科教学中的作用。......
[期刊论文] 作者：张家锦,
来源：集成电路应用 年份：2021
分析研究了首层光刻工艺层内图形位置偏差的影响因素,深入剖析了误差源的影响方式和控制手段,拓宽了补偿和降低图形位置偏差的思路,同时结合基于曝光设备的光刻工艺实验和数据模型分析方法,进一步验证和评估图形位置误差的改进优化方式,提出了可行的工艺解决方......
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