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[学位论文] 作者：张必壮,,
来源：电子科技大学 年份：2020
AlN薄膜具有优异的物理和化学性质,被广泛应用于薄膜器件和压电执行器,如无线通讯用RF滤波器和谐振器,MEMS微传感器,能量收集器,光发射器件等。随着无线通信技术向着高频、大宽带的方向发展,高数据传输速率,极速增大的数据量,对声学滤波器的工作频率和带宽提出......
[期刊论文] 作者：张必壮, 葛澍蔚, 许绍俊, 杨成韬,,
来源：压电与声光 年份：2019
采用Er镶嵌靶,以射频(RF)反应磁控溅射法,在蓝宝石衬底上制备出了c轴取向的Er 0.11 Al 0.89 N z压电薄膜。运用正交设计实验优化后,Er 0.11 Al 0.89 N z薄膜的膜厚、表面粗糙...
[期刊论文] 作者：唐小龙,刘娅,蒋平英,张必壮,徐瑞豪,刘繁,张建清,司美菊,吕俊豪,杜雪松,
来源：压电与声光 年份：2022
该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段（2 401～2 483 MHz）薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器。采用一维Mason电路模型，在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路；在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型，并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统（MEMS）工艺制备与测试，滤波器在2 4......
[期刊论文] 作者：刘娅,马晋毅,孙科,张必壮,罗方活,徐阳,蒋平英,谭发曾,许东辉,田本朗,
来源：压电与声光 年份：2021
该文研制了一种空腔型的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器裸芯片。利用FBAR一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制作的谐振器模型形成阶梯型结构FBAR滤波器,利用ADS软件对FBAR滤波器裸芯片进行优化设计。仿真结果表明,FBAR滤波器裸芯片尺寸为1 mm......
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