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[期刊论文] 作者：张栋,孙丽丽,汪爱英,,
来源：真空 年份：2011
本文采用直流反应磁控溅射技术,以Ar和N2为反应前驱气体制备了TiN功能装饰薄膜。重点研究了衬底负偏压对沉积TiN薄膜的色泽、性能及微结构的影响。采用台阶轮廓仪、X射线衍射...
[会议论文] 作者：张栋;孙丽丽;汪爱英;,
来源：2010中国材料研讨会 年份：2010
本文采用直流反应磁控溅射技术，以Ar气和N2为反应前驱气体制备了TiN功能装饰薄膜。重点研究了衬底负偏压对沉积TiN薄膜的色泽、性能及微结构的影响。采用台阶轮廓仪、X射...
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