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[会议论文] 作者：徐东;上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室(上海);蔡炳初;王莉;丁桂甫;周勇;俞爱斌;,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm×6mm×1.5mm,NiTi/Si复合驱动膜的尺寸为3m...
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