【摘 要】
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NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm×6mm×1.5mm,NiTi/Si复合驱动膜的尺寸为3m
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NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm×6mm×1.5mm,NiTi/Si复合驱动膜的尺寸为3mm×3mm×20um.驱动膜利用NiTi形状记忆合金(SMA)大应力应变输出和硅薄膜的弹性偏置力实现往复运动,不仅驱动效果明显,而且结构十分简单.对NiTi薄膜进行图形化和结构优化并作为形状记忆合金自加热元件,提高了驱动效率和驱动频率.测试结果表明,微泵输出最大流量达340ul/min,最高工作频率达100Hz,工作寿命已超过数百小时.
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