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[期刊论文] 作者:徐昌型, 来源:稀有金属 年份:1985
本文通过理论计算、实验校验,定量地研究了坩埚对硅单晶质量的影响,提出了高纯涂层石英拉晶工艺。In this paper, the effect of crucible on the quality of silicon sing...
[期刊论文] 作者:徐昌型, 来源:稀有金属 年份:1979
本试验研究了影响位错密度的因素,对低位错热场进行了分析。讨论了晶向、直径和生长速率对位错密度的影响。通过静态与动态热场的选择与调整,降低晶体中热应力,已找到了低位...
[期刊论文] 作者:张平,徐昌型,孙培懋, 来源:稀有金属 年份:1990
在国内首次实现了φ76.2mm直拉单晶硅减速拉晶、控氧、等径到收尾的全过程计算机全数字控制,摸索出一套基本控制模式和工艺方法。该系统能全自动保持理想的温度补偿,保证各炉...
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