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[会议论文] 作者:徐永明[1]李立[2], 来源:展望21世纪初光电技术发展趋势研讨会 年份:2000
该文详细介绍了二元光学元件制作的光刻技术和一些新的制作工艺,包括薄膜沉积法、激光束或电子束直接写入法和准分子激光加工法。针对用于CO激光器模式优化元光学反射镜,作者分......
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