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[期刊论文] 作者：徐清发,
来源：仪器仪表标准化 年份：1989
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[期刊论文] 作者：徐清发,
来源：仪器仪表标准化 年份：1989
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[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：仪器制造 年份：2004
提高成品率是集成电路生产和研制中十分重要的课题。本文从基础工艺出发,概述了影响集成电路成品率的基本因素,提出了提高成品率的工艺措施。Improve the yield is integra...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：仪器制造 年份：1982
本文描述了用电容耦合式射频等离子体分解硅烷淀积含氢a—Si钝化膜的工艺。考察了与单晶半导体器件钝化有关的制备条件。This paper describes a process for the depositi...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：冷藏技术 年份：1984
“由粗变精、由大变小”,这是随着市场需求的发展,对屠宰加工提出的新的要求。由此,屠宰加工从产品结构上发生了变化:胴体一分割肉。这样,成片胴体必须经过按不同的规格进行...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：自动化仪表 年份：1988
本文从元器件设计、材料及工艺等角度,简要介绍了半导体器件的失效机理、失效模式,并对常规失效检测法及其仪器设备作了概述。This article briefly introduces the failur...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：自动化仪表 年份：1988
一、引言传感器技术的蓬勃发展,促使形形色色的传感器产品大量涌现。据不完全统计,目前国内传感器品种已达数千种。如何将这些名目繁多,性能各异的传感器加以科学地命名和分...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：仪器仪表标准化与计量 年份：1990
1 主题内容本标准规定了应变计式力传感器:1.1统一的设计和性能特性一般规范.1.2统一的交收和鉴定试验方法。1.3统一的试验数据表达方式.1.4电气制图用图形符号。2 适用范围...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：自动化仪表 年份：1983
本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级,更重要的是...
[期刊论文] 作者：А.В.Ерюхин,徐清发,,
来源：国外计量 年份：1977
国家监督机构的实验室和生产与使用真空计的部门,经常向全苏门捷列夫计量科学研究院询问有关高真空计的检定规则和条件等问题。鉴于真空计仪器广泛应用于工业和科研领域,并...
[期刊论文] 作者：徐清发,,
来源：仪器仪表标准化与计量 年份：1988
一、目的、意义及来由在社会实践中,人们为了区别事物彼此特征总要规定一个事物的名称或术语。术语是学科中指称概念的规范化词或词组。其所谓“规范化”是靠命名法实现的。...
[期刊论文] 作者：CRAIGS.SANDER,徐清发,
来源：传感器技术 年份：1983
介绍了一种新的微形单片式电容压力传感器(CPT1),其灵敏度比压阻应变式压力传感器高20倍,功率仅为后者的1％,而且通过现行的集成电路工艺可以批量生产。第二种器件(CPT11)是将...
[期刊论文] 作者：D.R.Denison,徐清发,,
来源：国外计量 年份：1975
1.引言据报导,采用不同的方法测量溅射离子泵抽速,其结果是不同的。因此有必要对最常用的几种测量方法进行系统研究。国际真空科学与技术协会(IUVST)建议用费希尔(Fisher)和...
[期刊论文] 作者：徐清发,李新,
来源：传感器技术 年份：1984
一、引言 近年来传感器在各个领域的开发及其应用引起人们的注意。检测各种物理量的物理传感器已经实用化,并已应用于各种技术领域。 另一方面,检测化学物质的化学传感器的...
[期刊论文] 作者：徐清发,王欣,
来源：传感器技术 年份：1996
根据国家标准ＧＢ７６６５．ＧＢ７６６６及ＧＢ／Ｔ １４４７９规定的技术内容，阐述了传感器的命名方法、分类体系及图形符号，并就传感器与敏感元件的基本概念做了初步探讨，以期在传感器行业建立统一的规范的技术语言。......
[期刊论文] 作者：李凤翔,徐清发,
来源：传感器技术 年份：1983
一、前言 多国仪器仪表学会会议暨展览会(MICONEX)于1983年4月11日至18日在上海举行。这是国际间仪器仪表界的一次盛会。中国和来自世界16个国家地区的仪器仪表厂商参加了产...
[期刊论文] 作者：谷口修,徐清发,
来源：真空技术报导 年份：1975
1、引言 近年来,随着科学技术的不断发展,真空技术的重要性与日俱增,而且开始要求比以往更高、更清洁的真空环境。所以自扩散泵问世之后,曾一度被忽视的分子泵又再次引起人们...
[期刊论文] 作者：泽田雅,徐清发,
来源：真空技术报导 年份：1975
1.引言 为阐明轴流分子泵的抽气机理,笔者不久前曾对轴流叶轮在分子流区域内的抽气特性进行了研究(1)(2)。 在用油扩散泵作前级泵时,前级真空端的真空度要保持在10～(-4)乇以上...
[期刊论文] 作者：泽田雅,徐清发,
来源：真空技术报导 年份：1975
1、前言 轴流分子泵是机械泵的一种。它是利用轴流叶轮在分子流区域内高速旋转获得低压强的超高真空泵。在实际的轴流分子泵中,通过几十级的叶轮以150～200米/秒的圆周速度旋转...
[期刊论文] 作者：泽田雅,徐清发,
来源：真空技术报导 年份：1975
关于轴流分子系的工作机理，我们在第一报和第二报里已经谈过了。基于这两报的结果，这里我们提出了确定叶列排列的方法，设计和试制了一台轴流分子泵，并对这台分子泵的性能进行了大......
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