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[会议论文] 作者：徐立铭;许基松;顾广瑞;,
来源：中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会 年份：2009
本文利用石英管型波等离子体化学气相沉积装置在Si衬底上沉积了纳米片状碳膜，利用电子束蒸镀方法在碳膜表面沉积了一层2nm厚的Ti膜。在高真空系统中测量了纳米片状碳膜覆盖Ti...
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