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[会议论文] 作者：撒同良;秦霓;包定华;,
来源：第十四届全国电介质物理、材料与应用学术会议 年份：2012
近年来,锆酸铅(PbZrO3)基反铁电材料由于在微机电系统(MEMS)和高密度电荷/能量存储电容器等领域的潜在应用得到越来越多的关注.我们采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底...
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