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[学位论文] 作者:施长治,, 来源:哈尔滨工业大学 年份:2011
在压阻传感器方面,与单晶硅相比,多晶硅薄膜器件无需p-n结衬底隔离,可实现高温工作;与绝缘体上单晶硅(SOI)相比,其具有工艺简单、制造成本低的优势。但是,普通多晶硅压阻传感器...
[期刊论文] 作者:刘晓为,施长治,谭晓昀,, 来源:测试技术学报 年份:2008
设计了一种基于∑-△调制器技术的新型电压一频率转换器,用于将微加速度计的模拟电压信号转换为相应的频率输出信号.该电路采用中国电子科技集团24所的4μmP阱标准CMOS工艺参数...
[期刊论文] 作者:施长治,刘晓为,谭晓昀, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2007
设计了一种基于Σ-Δ调制器技术的新型电压.频率转换器,可用于加速度计接口电路将模拟电压信号转换成相应的频率输出信号,且其对于恒定输入电压具有稳定的输出频率,具有正负两种......
[期刊论文] 作者:施长治,刘晓为,谭晓昀,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2007
设计了一种基于Σ-Δ调制器技术的新型电压-频率转换器,可用于加速度计接口电路将模拟电压信号转换成相应的频率输出信号,且其对于恒定输入电压具有稳定的输出频率,具有正负...
[会议论文] 作者:刘晓为,李海涛,尹亮,董长春,施长治, 来源:中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 年份:2009
低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点,越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统中。微加速度计的前端检测敏感电路设计成为此类加速度计的一大挑战。本文提出了一种用......
[期刊论文] 作者:陆学斌,刘晓为,揣荣岩,施长治, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2009
利用低压化学气相沉积(LPCVD)技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜,并对样品的压阻特性进行了测试.采用最小二乘法对实验数据进行拟合,得到了应变系数及其线性度与掺杂浓度的......
[期刊论文] 作者:杨建设,张冬梅,陈茂濠,施长治,苏森峰, 来源:茂名学院学报 年份:2002
采用耐酚能力达1760mg/L的3株优势菌W1、M2、W2,在不同苯酚浓度下研究了各自的降酚活力差异.结果表明:三种耐酚优势菌对苯酚都有较好的降解能力,在相同时间内降解率均随浓度...
[期刊论文] 作者:施长治,崔虹云,刘晓为,揣荣岩,李智,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2011
为了提高基于多晶硅纳米薄膜的压阻传感器的性能及成品率,对不同厚度多晶硅薄膜的电阻电学修正特性进行了研究.采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺,620℃下制备多晶硅薄膜.通过固...
[会议论文] 作者:施长治,林春,陈路,魏彦锋,朱明星,孙常鸿, 来源:第十一届全国分子束外延学术会议 年份:2015
引言碲镉汞作为一种禁带宽度可连续调节的直接带隙半导体材料,已经广泛应用于红外焦平面探测器的制造[1].而与传统的n-on-p型器件相比,As离子注入p-on-n型HgCdTe红外焦平面器...
[会议论文] 作者:刘晓为[1]李海涛[2]尹亮[2]董长春[2]施长治[2], 来源:中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 年份:2009
低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点,越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统...
[期刊论文] 作者:揣荣岩,刘斌,刘晓为,孙显龙,施长治,杨理践,, 来源:半导体学报 年份:2010
The experiment results indicate that the gauge factor of highly boron doped polysilicon nanofilm is bigger than that of monocrystalline silicon with the same do...
[期刊论文] 作者:刘晓为,李金锋,揣荣岩,施长治,陆学斌,吴娅静,, 来源:传感器与微系统 年份:2008
用低压化学气相淀积(LPCVD)法淀积了膜厚为60-250nm的多晶硅纳米薄膜,研究了膜厚和掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜电学特性的影响。结合扫描电镜(SEM)图片,在电阻率与电阻率温度系数测试......
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