一种用于电容式微加速度计的低噪声高线性度全差分CMOS接口电路

来源 :中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:li_uwx
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低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点,越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统中。微加速度计的前端检测敏感电路设计成为此类加速度计的一大挑战。本文提出了一种用于电容式闭环微加速度计的低噪声、高线性度的全差分接口电路,包括全桥平衡模块、电荷积分模块、相关双采样模块、比例积分微分(PID)控制模块、平衡力反馈模块及和时序控制模块。
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