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[期刊论文] 作者:晏世纲, 来源:洁净与空调技术 年份:1999
随着集成电路技术的不断发展,对生产所需纯水水质要求更高,本文系统介绍了超大规模集成电路生产中的超纯水水质指标,典型制备流程。输送管材以及超纯水制备系统的发展。...
[期刊论文] 作者:刘怡,晏世纲, 来源:洁净与空调技术 年份:2006
根据某电子网版厂废水的特性,结合调试运行的经验教训,阐述了工艺设计方案的特点及先进的自控手段,并针对设计中存在的问题,提出了改进措施。...
[期刊论文] 作者:牛广明,杨生,晏世纲, 来源:洁净与空调技术 年份:2021
随着我国光电产业的大力发展,国内各类电子洁净厂房的建设也越来越多,规模也越来越大。结合近些年参与的多个显示屏项目洁净厂房消防系统施工的实例,简要阐述了近十几年来,此...
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