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[期刊论文] 作者：杨圣,曲扬铭,等,
来源：机械设计与制造工程 年份：2002
纳米工作在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纲米工作台的关键技术，并对其相关的理论问题、工作原理和技术思想进...
[期刊论文] 作者：杨圣,曲扬铭,张丽敏,
来源：机械设计与制造工程 年份：2002
纳米工作台在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纳米工作台的关键技术 ,并对其相关的理论问题、工作原理和技术思...
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