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[期刊论文] 作者：木村正城,韩美,
来源：低温与特气 年份：1994
在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。......
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