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在线式超高纯气体纯化器
在线式超高纯气体纯化器
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yu_threestone
【摘 要】
:
在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置,近几年来,广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时,还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。
【作 者】
:
木村正城
韩美
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
在线式
超高纯气体
纯化器
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在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置,近几年来,广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时,还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气(气体中含有杂质浓度为10-’、10-‘’级)供给技术。超高...
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