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[会议论文] 作者：李明华;李军勇;陈达明;林杨欢;胡芸菲;沈辉;,
来源：第十届中国太阳能光伏会议 年份：2008
利用电子束沉积法在普通玻璃衬底上沉积了a-Si/Al双层薄膜,然后在有氮气保护的不同退火温度条件下制备出多晶硅薄膜。利用拉曼光谱、XRD、SEM对薄膜进行了测试分析。实验结果...
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