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[期刊论文] 作者:罗维根,潘浴新,李连扬,, 来源:无机材料学报 年份:1981
用普通的射频二极溅射工艺沉积出了PLZT铁电薄膜。溅射用靶材的化学组成为7/65/35和8/65/35,经烧结得到直径为100毫米的陶瓷靶。为弥补溅射过程中铅的流失,在靶中外加重量为...
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