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[学位论文] 作者：杜妙璇,
来源：中北大学 年份：2012
新型功能材料因为同时具备感知和响应特性，且易于微型化、集成化和智能化，已成为现今功能器件与系统应用开发的研究热点。反铁电/铁电功能材料由于其特殊的晶体结构，在电场、温......
[期刊论文] 作者：张晓磊,徐永青,杜妙璇,
来源：微纳电子技术 年份：2018
针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统(MOEMS)芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定...
[期刊论文] 作者：杜妙璇,耿文平,丑修建,张文栋,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
采用溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了单步和多步退火工艺对反铁电厚膜结构及电学性能的影响。结果表...
[期刊论文] 作者：牛康康, 丑修建, 杜妙璇, 薛晨阳, 张文栋,,
来源：传感技术学报 年份：2011
基于红外光在半导体材料中的透射特性,将白光扫描干涉方法从可见光波段推广到红外光波段。设计研制了Linnik结构红外光干涉系统,对具有三层台阶结构的微器件进行了无损三维形...
[期刊论文] 作者：杨玉华,杜妙璇,关新锋,丑修建,张文栋,
来源：功能材料 年份：2012
采用溶胶-凝胶技术,在Pt（111）/Ti/SiO2/Si衬底上制备了高（100）取向生长、表面平整且结构致密的（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜,研究了温度场和电场对（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜电学性能的影......
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