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[期刊论文] 作者:张勇,杜学寨, 来源:设备管理与维修 年份:2019
针对高低温湿热箱常见问题的维修、设备维修的内容等方面进行研究分析,目的在于使高低温试验设备能安全、稳定地运行,从而提高试验结果的可靠性以及精准性。...
[期刊论文] 作者:蔡颖岚,刘峰,杜学寨,殷玮,杜妍, 来源:设备管理与维修 年份:2019
薄膜工艺是半导体工艺重要组成部分,较广泛的采用物理气相沉积和化学气相沉积方法。通常把PECVD才直接称为淀积工艺,其工艺受多方面因素影响,通过工艺和设备技术的研究,提高...
[期刊论文] 作者:蔡颖岚,刘峰,杜学寨,殷玮,杜妍, 来源:设备管理与维修 年份:2019
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