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[期刊论文] 作者：杨伯熙,张建人,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：1965
本文介绍了研究Ｐ—Ｎ结均匀性的几种实验方法。实验研究是在硅扩散Ｐ－Ｎ结上进行的。实验发现以下几类局部击穿效应：１）低压硬击穿；２）低压软击穿；３）微等离子体击穿；４）边缘击穿。最后从扩散工艺的角......
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