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[期刊论文] 作者：杨慎忠,
来源：电工电能新技术 年份：1988
在电子束曝光机中尽管激光工作台测量精度很高,分辨率可达0.04微米但是由于驱动电机停机后,工件台仍有少量的过冲或反弹,X-Y两根导轨的正交度也不可能达到绝对正交的理想水平...
[期刊论文] 作者：杨慎忠,
来源：电工电能新技术 年份：1990
光绘图机是制作印刷线路掩膜版的专用设备,用光绘图机绘制印刷线路板掩膜是当今国际上最先进的一种工艺手段。由中国科学院电工研究所和北京集成电路制版服务中心联合研制的...
[期刊论文] 作者：杨慎忠,钱元恺,
来源：电工电能新技术 年份：1990
光绘图机是制作印刷线路掩膜版的专用设备,用光绘图机绘制印刷线路板掩膜是当今国际上最先进的一种工艺手段。由中国科学院电工研究所和北京集成电路制版服务中心联合研...
[期刊论文] 作者：向钟慧,杨慎忠,
来源：电工电能新技术 年份：1988
电子束曝光机进行曝光的全部过程都是在电子计算机的控制下进行的。本文介绍了圆形束曝光机的计算机控制系统,包括系统的配置、自制的专用设备、为了提高系统可靠性所采用的...
[期刊论文] 作者：杨慎忠,钱元凯,林云生,马伟伟,刘亦兵,
来源：电工电能新技术 年份：1990
本文介绍光绘图机在印刷线路掩膜版加工中的应用,叙述了光绘机的工作原理和GH-1 型光绘图机系统的组成及特点。This article introduces the application of light plotter...
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