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[学位论文] 作者：杨满中,,
来源：华南理工大学 年份：2020
类金刚石(diamond-like carbon,DLC)涂层具有优异的性能,应用潜力广泛。但DLC涂层的显著缺点,即内应力高和热稳定性差,限制了DLC涂层的推广应用。本实验采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的方法,调控涂层含氮量,调节偏压大小,以及进行硅氮共掺。利用拉曼光谱、......
[期刊论文] 作者：杨满中, 彭继华, 韦宇冲,,
来源：哈尔滨工业大学学报 年份：2019
为探讨低氮掺杂对含氢类金刚石组织结构和力学性能的影响.采用非平衡磁控溅射和等离子增强化学气相沉积(PECVD)复合技术,在316不锈钢和硅片上制备碳化钨过渡层和不同掺氮量的...
[会议论文] 作者：杨满中,彭继华,苏东艺,
来源：粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会 年份：2017
使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)在304不锈钢基体表面制备含硅和不含硅类金刚石(DLC)涂层.采用拉曼光谱研究了薄膜的热稳定性,维氏硬度计、划痕仪表征了所制薄膜的硬度和膜基结合力.结果表明,对于非成建CHn的含氢DLC涂层,硅掺杂可以明显地提高涂层中的sp3含......
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