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[期刊论文] 作者：松村英树,伍舒珍,何洪俊,,
来源：半导体情报 年份：2004
本文评论了注入离子横向分布这一课题的最近研究成果,为了知道三维离子的分布,先论述了理论方法。考虑到分布范围的四次项,讨论了横向扩展最大时横向分布的形状和深度。其次...
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