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[会议论文] 作者：林旭峰[1]郎婷婷[2]何建军[1],
来源：全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议 年份：2009
用等离子增强化学气相沉积方法生长二氧化硅波导时，如果波导间距较小，会在波导芯层间产生空隙，并因此导致损耗增加。本文针对这个问题，提出一种新颖的简便方法，在上包层使用硼锗共......
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