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[期刊论文] 作者:林炜晟,宋震国(指导),陈政寰(指导), 来源:金属加工:冷加工 年份:2020
非球面光学元件表面形貌的干涉量测因须透过电脑全像片、零透镜等补偿元件提供与待测元件相匹配之理想非球面波前,故需严谨与复杂的程序进行量测系统即包含干涉仪内部光路系...
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