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[期刊论文] 作者:柴慈钧,
来源:电子科技杂志 年份:1990
本文介绍了当今国际上高纯化学药品、材料及其发展动态,内容包括初期情况,SEMI技术条件、化学药品的现状、检测设备、专用产品和展望,最后简述了高纯工艺材料正在发生的革命,21世......
[会议论文] 作者:蒲云尧,柴慈钧,
来源:中国兵工学会第五届测试技术学术年会 年份:1990
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[会议论文] 作者:瞿树伟,柴慈钧,
来源:第六届全国电气自动化电控系统学术年会 年份:1992
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