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[期刊论文] 作者：梁凯基,张远青,
来源：真空与低温 年份：2000
叙述了复杂结构的大型真空容器氦质谱检漏应用技术，分析了其中存在的问题。提出应设置合适的检漏系统、适当降低检漏速度及对复杂部位进行局部检漏等方法。...
[会议论文] 作者：梁凯基,朱惠钦,
来源：2014年广东省真空学会学术年会 年份：2014
结合PECVD成膜及卷绕设备的制作及控制技术,研发一种在柔性材料表面沉积硅膜,达到有效阻隔氧气、水汽效果的镀膜设备.设备采用多区域放电及多辊卷绕,实现高速镀膜.实测表明,...
[会议论文] 作者：梁凯基,蔡东峰,
来源：中国真空学会第五届学术会议 年份：1998
...
[期刊论文] 作者：梁凯基,张远青,
来源：真空 年份：2000
:本文对大型真空镀膜设备常用的活动电输入装置作了详细分析 ,指出其存在的缺点 ,并设计出一种能有效地克服这些缺点 ,改善导电性能的新装置。这一装置的使用 ,有利于提高大...
[会议论文] 作者：梁凯基[1]朱惠钦[2],
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
结合等离子体增强化学气相沉积及卷绕设备连续高速传动优点,研发一种在柔性材料表面沉积纳米无机氧化硅高阻隔薄膜,达到有效阻隔氧气、水蒸气的真空镀膜设备.镀膜设备的...
[会议论文] 作者：朱惠钦, 潘振强, 梁凯基,,
来源： 年份：2004
为了提高CrCN薄膜的硬度,在SUS316不锈钢片表面采用真空磁控溅射方式,在溅射制备CrCN硬膜的同时掺杂Si元素,生成CrSiCN多元硬膜。并且通过CrSiCN的表面形貌,厚度,显微硬度,膜...
[会议论文] 作者：陈强, 朱惠钦, 潘振强, 梁凯基,,
来源： 年份：2004
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[会议论文] 作者：朱惠钦, 潘振强, 梁凯基, 贺艳,,
来源： 年份：2004
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[会议论文] 作者：潘振强,邹辽东,朱惠钦,梁凯基,
来源：粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会 年份：2017
在真空腔室内,合理布置不同折射率溅射孪生靶材,靶材采用平面靶或圆柱靶,反应磁控溅射沉积中闭环动态控制氧分压应用,薄膜沉积速率得到了显著提高,是普通磁控溅射的3～5倍.同时...
[会议论文] 作者：潘振强,朱惠钦,陈伟,梁凯基,
来源：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会 年份：2016
采用霍尔离子源和电子枪蒸镀无机纳米氧化硅薄膜的方式,对聚丙烯锂电池隔膜表面进行真空镀膜处理.同时,研究了氧气离子源放电处理工艺和无机纳米氧化硅薄膜对隔膜表面润湿性...
[会议论文] 作者：朱惠钦,潘振强,梁凯基,贺艳,
来源：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会 年份：2016
以厚度为12μm,宽幅为1250mm的包装用聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜)作为镀膜基材,采用多电极对磁增强等离子体化学气相卷绕镀膜的方式(Roll to Roll M-PECVD),以六甲基...
[期刊论文] 作者：梁凯基,张远青,蔡东锋,戴晋福,
来源：真空与低温 年份：2000
叙述了复杂结构的大型真空容器氦质谱检漏应用技术 ,分析了其中存在的问题。提出应设置合适的检漏系统、适当降低检漏速度及对复杂部位进行局部检漏等方法Describes the co...
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