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[学位论文] 作者：武东城,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2014
全球环境的日益恶化，严重影响了人类社会的可持续发展，世界各个国家积极采取办法应对，不仅要遏制污染源的排放，更要加强对于污染气体的检测工作。检测污染气体的方法主要包括化学......
[期刊论文] 作者：高松涛,武东城,苗二龙,
来源：中国光学 年份：2017
在高数值孔径（NA）投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超......
[期刊论文] 作者：高松涛,武东城,苗二龙,
来源：中国光学 年份：2017
在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中, 随着数值孔径的增加, 非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测, 一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500 μm的偶次高次非球面进行了计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)设......
[期刊论文] 作者：高松涛, 武东城, 于长淞,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2016
目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影...
[期刊论文] 作者：朱岩,田伟,方斌,武东城,
来源：长春理工大学学报：自然科学版 年份：2016
为了提高光学检测精度,完善标准镜装配工艺,针对采用胶粘法装配的镜片提出了两种补偿镜片自重变形的方法,即通过改变胶层位置补偿镜片自重变形的方法和通过施加作用力改变镜...
[期刊论文] 作者：高松涛,武东城,彭石军,苏东奇,苗二龙,
来源：光学学报 年份：2015
用计算全息图(CGH)检测非球面时，除了设计零位补偿CGH 外，还往往设计辅助调节CGH，从而可以利用干涉图来精确调节CGH 的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH，提出零位补偿CGH 和辅助调节CGH 之间具有相互补偿效应。针对一高次非球面，设计了四种不同的C......
[期刊论文] 作者：武东城,高松涛,吴志会,彭石军,曲艺,苏东奇,苗二龙,,
来源：光学学报 年份：2015
影响高精度光学元件重要的因素之一是支撑结构。主要研究了在三点支撑下,自重变形量与口径和厚度的关系。采用数值分析、有限元法(FEM)模型与实验验证相结合的方法完成对三点...
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