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[期刊论文] 作者:段斌生,,
来源:半导体情报 年份:1978
一、简单原理与应用特点图1为扫描型电子显微镜(以下简称为扫描电镜)的结构概图。由电子枪发射的电子束被阳极加速后,经2~3段电子透镜聚焦,最终变成几百埃以下的电子束。当此...
[期刊论文] 作者:Burd,段斌生,,
来源:半导体情报 年份:2004
本文描述了在多至8个衬底上同时沉积外延层的系统。在外延层中物理和电学特性均具有高度的均匀性。片内层厚的变化低于10%,而每炉片间层厚的典型变化为±5%。GaAs_(1-x)P_x薄层...
[期刊论文] 作者:段斌生, 欧建雄,
来源:半导体情报 年份:1976
...
[期刊论文] 作者:丸山光弘,段斌生,,
来源:半导体情报 年份:1975
一,序言晶体管发明以来的近25年间,半导体科学进展甚为迅速。以晶体管为主的半导体部件取代了电子管,单个器件发展成具有电路功能的集成电路,现正向具有大功能的LSI(大规模...
[期刊论文] 作者:David R.Wood,D.Vernon Morgan,段斌生,欧建雄,,
来源:半导体情报 年份:1976
本文讨论用机械的和化学的方法制备砷化镓晶体表面。利用不同的化学腐蚀剂对逐次抛光过程中的各表面进行对比研究。用显微法定性地和用 Rutherford 反向散射/沟道法定量地鉴...
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