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[期刊论文] 作者：毛敏耀,王效东,
来源：功能材料与器件学报 年份：1996
设计出一种微静电ｗｏｂｂｌｅ马达，定子电极的一部分重叠在转子之上，微马达用二次自对准的准ＬＩＧＡ技术制作，电铸镍作结构层，电铸铜作牺牲层，得到的转子与定子，转子和轴的间隙分别为２．５和１．３μｍ。马达制备的......
[期刊论文] 作者：王效东,毛敏耀,
来源：微细加工技术 年份：1998
报道了一种新的金刚石薄膜选择生长图形化技术。首先用直流偏压增强的微波等离子体化学气相沉积对图形区域高密度金刚石成核，接着对掩模区域进行一次化学浅腐蚀，然后正常生长金......
[期刊论文] 作者：王效东,毛敏耀,王渭源,
来源：微细加工技术 年份：1998
报道了一种新的金刚石薄膜选择生长图形化技术。首先用直流偏压增强的微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）对图形区域（Ｓｉ）高密度金刚石成核，接着对掩模区域（ＳｉＯ２）进行一次化学浅腐蚀，然后正常生长金......
[期刊论文] 作者：王效东,毛敏耀,杨艺榕,王渭源,
来源：仪表技术与传感器 年份：1998
以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长技术。...
[期刊论文] 作者：王渭源,王效东,毛敏耀,杨艺榕,任琮欣,解健芳,
来源：科学通报 年份：1999
针对金刚石薄膜用于微电子器件和微机械器件的共性关键技术问题 ,总结了近年来这些方面的研究成果 ,包括 :用交流 直流负偏压微波等离子化学气相沉积 (MPCVD)在绝缘SiO2衬底...
[期刊论文] 作者：毛敏耀,金晓峰,王添平,解健芳,章熙康,谭淞生,王渭源,庄志诚,
来源：中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学) 年份：1995
报道了一种新的适用于在绝缘衬底上生长金刚石薄膜的方法,利用在直流电压上叠加交流成分,作为微波等离子体的电场偏置,成功地在SiO_2衬底上首次实现了>10~8cm~(-2)的金刚石成...
[期刊论文] 作者：毛敏耀,亢昌军,王添平,解健芳,谭淞生,王渭源,章熙康,金晓峰,庄志诚,
来源：物理学报 年份：1995
Diamond thin films are deposited on mirror-polished Si substrates using microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD), wherein, the substrates were first...
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