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[期刊论文] 作者：毛祟昌,,
来源：光学工程 年份：1985
本文从投影光刻工艺的特殊要求出发,简要分析了在投影分步重复光刻机上配用自动调焦及调平系统的重要意义,着重介绍了两个光电式自动调焦、调平系统的原理、实验结果及主要特...
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